中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855PI #9033653 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855PI
ID: 9033653
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Oxide etcher, 8" (2) Chambers 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 855PIは、ハイスループットプロセス技術のために設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。精密エッチング/非対称エッチング技術により、歩留まりを犠牲にすることなく、複雑なパターンを高精度にエッチングできます。このシステムは、高密度で高解像度のデバイスを生成することができる高精度のマイクロエレクトロニクスドライエッチプロセスを備えています。エッチング/非同期エッチングプロセスを優れた性能で正確に定義・実行できる包括的な機能を備えています。このユニットには、高精度制御メカニズム、統合されたリアルタイムアクティブラーニングテクノロジー(ALCT)が装備されています。この機能により、エッチングの精度とプロセス時間の速度を最適化し、エッチング/アッシャーの精度を向上させることができます。この機械は、従来のエッチング方法よりもはるかに小さな線幅で精密なエッチング/アッシャーも可能です。これは、デュアルチャンバー構成を使用することによって達成されます、第1チャンバは、プロセス開発に専念しており、第2チャンバは、エッチング/アッシャーのために予約されています。この機能により、歩留まりを犠牲にすることなく、正確な機能をエッチングできます。また、高精度で反復性の高い工程を備えており、非常に小型で精密なフィーチャーサイズで幅広い形状を作成することができます。このアセットは、非常に均一な表面を持つデバイスを製造することもできます。TEL Unity II 855PIエッチング/アッシャーは、革新的なエッチング/アッシャー技術と使いやすい制御/監視モデルを組み合わせています。LCDパネルエッチング、半導体マイクロエレクトロニクス、フォトマスクエッチングなど幅広い用途に対応しています。この装置は、現代のエレクトロニクス業界の精密エッチング/アッシャー要件を達成するための信頼性と経済的なソリューションを提供します。
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