中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 850DIは、中規模プロセス向けに設計された信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。優れたエッチングとアッシング機能、高いスループット、再現性のあるプロセス結果を提供します。TEL Unity II 850DIは、ICP （Inductively Coupled Plasma） エッチャー/Usherで、最大1000Wのプラズマ電源で動作可能です。これは、強力で効率的なエッチングとアッシングを提供し、高いプラズマ電力の効率的な配信を可能にするユニークな八面体の電極炉で構築されています。また、高精度のウェーハ/ガスアライナーと低摩擦モーションシステムを備えており、パターニングの均一性を最大限に高め、加工精度を向上させています。このユニットには、ガス流量を自動的に調整する独自のET制御アルゴリズムと外部圧力制御が装備されています。制御アルゴリズムは、プロセス条件を均一に保ちながら、ガスの流れと圧力の変化を自動的に補正し、ラインのエッジの粗さを最小限に抑え、プロセスの再現性を向上させることができます。このマシンには、リアルタイムのガス圧力と流量測定を提供するガス供給ラインモニターも含まれています。このツールはまた、高精度の部品プロセスでの機能が可能であり、温度の均一性と再現性を向上させる独立したチャンバー加熱機能を備えています。信頼性の高いSE/BE/Z-Coronaソース用のAR/VFディテールと可変コロナ制御を内蔵しています。In-situ Diagnosticsはウェーハ処理の一貫性を確保し、適応性のある反応性ガスモニタはプロセス条件に応じて自動的に調整します。TOKYO ELECTRON UNITY II 850DIは、優れた性能と超低硫黄酸化物の使用も可能です。ウェーハピニオンやプラズマガイドなどの高度なウェーハハンドリング機能を備え、ウォームアップ時間のない信頼性の高いウェーハテーブルに加え、高精度ウェーハアライメントを実現します。この資産は近代的な規制基準を満たしており、粒子や二酸化硫黄の排出を制限しています。Unity II 850DIは、高度なエッチングおよびアッシングプロセスに最適で、再現性、信頼性、優れたプロセス機能を提供します。高いスループット、高効率運転、二酸化硫黄の排出量が極めて低く、in-situ診断機能により、すべてのお客様の期待を包括的に満たすように設計されています。