中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 845DD #9246573 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 845DD etcher/asherは、特許出願中の紫外レーザーを使用し、シリコンウェーハなどの精密なエッチングと灰を極めた高度なエッチング/アッシャー装置です。このユニットは、優れた精度と再現性を備えた業界最高の1um/minでエッチング/アッシュすることができます。TEL Unity II 845DDは、TEL賞を受賞したUnity IIシリーズの技術を取り入れ、パフォーマンスを最適化する新機能を追加しました。この機能には、他のエッチング/灰システムよりも優れた制御を可能にする新しい高分解能電子ビームシステムが含まれます。9軸ロボットは、すべての領域に簡単にアクセスできます。特許を取られたバッチ積載の単位はローディング/荷を下すことをこれまで以上に速くします;そして改善された制御機械はより正確な基質の配置および有効なエッチングを提供します。TOKYO ELECTRON Unity II 845DDは、最大2つのプロセスを同時に動作させることができ、ユーザーは同時にエッチングとアッシュを行うことができます。厚さ0。1〜0。6mmのサイズ調整可能なため、幅広い基板に対応できます。電力の面では、それは市場で最もエネルギー効率の高いエッチング/灰システムの一つになり、唯一の400Vを消費します。Unity II 845DDには、幅広い安全機能とスペシャリストサポートサービスが付属しています。そのインテリジェントソフトウェアは、特定のプロセスに応じてすべてのパラメータを自動的に調整し、毎回最高の結果が得られるようにします。さらに、高度な安全機能は、温度、圧力、およびその他の重要なパラメータを監視することにより、人員と環境を保護します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 845DDエッチャー/アッシャーは、精密エッチング/アッシングによる優れた精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適です。その高度な機能とパフォーマンス向上技術は、信頼性が高く効率的なエッチング/アッシュツールをお探しの方に最適です。
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