中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #9128639 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IeMは、高精度で信頼性の高いエッチング/アッシング・ソリューションを提供する次世代エッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、幅広いプロセスウィンドウ、改善されたプロセスの均一性、および機器コンポーネントとのより良い統合を可能にする高度なエッチング技術で設計されています。独自のフルスペクトルエッチプロセス制御により、エッチングステップの均一性、スループットの向上、パッシベーション性能の向上を実現します。また、レシピ開発のための使いやすい制御装置と、一貫した再現性のある結果を保証するためのAdvanced Mechantronics Module （AMM）も含まれています。TEL Unity IeMは、高度なパッケージング、MEMS、ウェハレベルのパッケージングなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適しています。その高度な設計は、生産効率の向上とシステムの均一性の向上により、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。高性能の光の要素を使用して、エッチング結果を効率的にするために広い領域に均一な照明を作成します。革新的なマルチヘッドエッチングユニット（MHES）は、単一のマシンで同時にエッチングおよびアッシング処理を行うように設計されており、パフォーマンスと柔軟性を向上させた小型で高速なツールを実現しています。TOKYO ELECTRON Unity IeMは、エッチングステップの均一性とプロセス制御に優れた真空チャンバー設計を特許取得しています。このアセットには、サンプル片を効率的に処理するための高度な機械式キャッチリリースモデルも含まれています。それはまたプロダクト他の装置の部品との容易な取付けそして統合のために設計されています。装置はまた正確な結果を保障する調理法の開発のためのソフトウェアを含んでいます。最後に、エッチャー/アッシャーシステムには、緊急遮断ユニットや内蔵の警告灯、アラームなど、さまざまな安全機能が含まれています。全体として、Unity IeMは、高精度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングソリューションを提供するように設計された次世代のエッチャー/アッシャーです。高度なエッチングとアッシング技術、使いやすい制御システム、および正確で再現性の高い結果を保証するさまざまな安全機能を備えています。このマシンは、高度なパッケージング、MEMS、ウェハレベルのパッケージングなど、さまざまな先進技術のエッチングとアッシングに適しています。