中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9366422 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EPは、半導体ウェハ製造に使用される信頼性の高い自動エッチャー/アッシャー装置です。紫外線光源システム、フォトレジスト測定システム、コンベアシステムを使用して、ウェーハ上のエッチング、デポジット、ストリップパターンを使用します。その結果、製品の歩留まりと品質が向上します。TEL Unity EPシステムは、最大200mmウェーハ容量のEビームエッチングチャンバー、最大300mmウェーハ容量のプラズマアッシャーを備えています。GaN、 Ga As、 SiCなど様々な素材のエッチングやアッシングに適しています。また、PAR （Photo/Acid/Resist） APx測定機を搭載し、ウェーハ上の抵抗と露出領域を測定します。このツールは非常にモジュール化されているため、コンポーネントを簡単に交換でき、より高いレベルの柔軟性が得られます。コンポーネントには、紫外線光源、マスクアライナー、フォトレジスト配送資産、UV硬化モデル、コンベア機器、エッジビーズ除去システム、レーザーマイク、赤外線スキャナー、ウェーハ冷却ユニットが含まれます。すべてのコンポーネントは、エッチング、アッシング、およびデータ収集プロセスを最適化するようにプログラムされています。これにより、製品の歩留まりと品質が向上します。TOKYO ELECTRON UNITY-EPにはTEL「リアルタイムエッチモニタリング」（RETM）テクノロジーが搭載されており、ユーザーはリアルタイムでエッチングの進行状況を監視できます。これにより、欠陥を軽減し、製品の品質を向上させるための迅速な調整が可能になります。また、リモートプロセス監視およびロギングマシンを備えており、ユーザーはエッチングのプロセスと結果を記録および監視することができます。統合されたプラットフォームは、エッチャー、プラズマアッシャー、およびポストアッシュプロセス機器を単一のプラットフォームに統合し、高い柔軟性とコスト効率を提供します。統合されたアーキテクチャにより、高速処理と低メンテナンスが可能になり、半導体ウェーハ製造業務に最適です。