中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9283079 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP（エッチャー/アッシャーとも呼ばれる）は、高速でクリーンで均一なサンプル処理を行うための高度なプラズマベースのエッチング/アッシング装置です。マイクロエレクトロニクスデバイスを作成するために材料を除去するプロセスであるプラズマエッチングとアッシングの機能を1つのコンパクトで自動化されたユニットに組み合わせることができます。TEL Unity EPは、中空カソード誘電バリア放電（HDBD）プラズマ源の力を利用し、高いエッチング率と基板選択性を実現しています。この技術は、湿式および乾式の両方のプロセスで動作するように設計されており、さまざまな種類のサンプルを柔軟に処理できます。プラットフォームは直感的なオープンアーキテクチャに基づいており、すべてのプロセスを完全にプログラム可能に制御できます。TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、直感的なユーザーインターフェースとグラフィカルディスプレイを備えており、エッチングとアッシングのプロセスパラメータを監視および監視することができます。このシステムは、10ミクロン以上の分解能で回路基板をパターン化し、0。5mmの材料を通してエッチングすることができます。東京電子ユニティEPユニットは、集積回路（IC）製造に最適化され、IC製造を容易にするいくつかの機能を提供します。例えば、高温動作を可能にする石英基板ホルダーを搭載し、窒素、アルゴン、酸素、アルゴン-酸素混合物などのエッチングガスに適しています。また、幅広いパラメータにわたって高いエッチング率を達成することができます。このプラットフォームには、ガス検出、過圧保護、不活性ガスサイクルなどのいくつかの安全機能も含まれています。さらに、このツールにはイオントラップが装備されており、プラズマエッチング中のプラズマ源の不安定性を低減するために使用されます。この機能により、エッチング処理の信頼性と再現性が保証されます。Unity EPは高い柔軟性を備えており、幅広いエッチングケミストリーや基板に対応しています。ポリマーや金属などの非導電性材料と導電性材料の両方を処理することができ、基板上のさまざまなビア、接触穴、特徴のエッチングに適しています。また、アセット容量が大きいため、複数のサンプルを同時にエッチングしながら、大きな基板に簡単に対応できます。全体的に、UNITY-EPは強力で汎用性の高いエッチングおよびアッシングモデルであり、幅広い基板およびエッチング処理が可能です。高度な機能と直感的な設計により、IC製造業界の迅速でクリーンで均一なサンプル処理に最適なツールです。