中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9237259 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、太陽電池用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。TELとTOKYO ELECTRONの共同研究であり、それぞれが独自のノウハウを持っています。これは、太陽電池の効率と歩留まりを向上させるために、安定した均一なエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。TEL Unity EPは、2チャンバーの先進的な設計を一体化し、薄くて厚いシリコンウエハの均一なエッチングとアッシングに最適化された新開発のウェハボート構造を中心に構築されています。このユニットは、ウエハの均一性と再現性を最適化するように設計されており、プラズマエネルギーの違いを低減し、処理のばらつきを低減する独自のプラズマ搬送機を備えています。このツールはさらに、ウェーハロットの上部と下部のエッチングの均一性を大幅に向上させる真の2ピースウェーハボート設計を採用しています。さらに、高度なウェーハボート設計は、すべてのプラズマが均一な温度であることを保証するために、再生排気資産と協調して動作し、一貫したプロセスを可能にします。東京電子ユニティ-EPは、太陽電池の優れたエッチングを保証する、利用可能な最高のプラズマ電力密度を提供しています。東京エレクトロンユニティEPは、エッチングの均一性を高め、業界標準に比べてエッチングの均一性を最大6倍に向上させました。また、エッチングとアッシングのための幅広いプロセスレシピを提供し、ユーザーはプロセスをカスタマイズする柔軟性を高めます。Unity EPには、ウェハーロスカウンターモデル、自動チューンプラズマコントロール、リモート診断などの高度な機能も搭載されています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、リアルタイムウェハ温度読み出しなどの優れた機能を備え、太陽電池処理アプリケーションに最適です。TEL UNITY-EPは包括的な太陽電池加工ツールです。その高度なエッチングとアッシング機能、信頼性の高いプロセスレシピと高度な機能と組み合わせて、それは任意の太陽電池の開発者や研究者のための優れた選択肢となります。さらに、UNITY-EPはプロセス効率と歩留まりを向上させ、太陽光発電セルの開発者が細胞から最大限の生産性を達成できるようにします。