中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9236828 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは高度なエッチャー/アッシャーです。TFT-LCD、 OLED、 IC、 MEMS製造など、さまざまな用途に適しています。優れたエッチングとアッシング性能と、高度なプロセスをサポートすることで知られています。TEL Unity EPはマルチステーション、マルチガスエッチャー/アッシャーです。エッチング速度、均一性、選択性、サイドウォールプロファイル、およびコンタミネーションフリーサーフェスを正確にプロセス制御できます。これは、基板の質量または層に関係なく一貫したプロセス結果を保証する自動充電補償システムを備えています。また、従来のエッチャーの最大10倍の高速エッチングをサポートする高度なガス供給およびマスフロー制御システムを備えています。さらに、複数のエッチング源と複数のガスで複雑なプロセスをサポートすることができます。また、東京エレクトロンユニティ-EPは、メンテナンスと統合を簡素化および高速化するモジュール設計を提供しています。これにより、アッシャーの取り付けとメンテナンスに必要な部品や部品が少なくなります。また、強化された監視システムを提供し、生産性とプロセスの安定性を向上させます。プロセス制御システムは、シンプルなプロセス設定とレシピ開発を可能にする直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。Unity EPは、高度なエッチングとアッシングの専門知識を持ち、現代のプロセスをサポートする幅広いアプリケーションに適しています。それは大量生産のための費用効果が大きい解決を提供する高度のプロセス安定性および制御を提供します。さらに、エネルギー効率が高く、環境に配慮したメーカーに最適です。