中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9208203 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、超高解像度、高スループット処理用に設計された高度なエッチング/アッシュ装置です。このシステムは、ベースステーション、精密プラズマ源、取り外し可能なチャンバーの3つの主要コンポーネントを備えています。ベースステーションは、プロセス制御とモニターインターフェイスの両方を提供します。このプラズマ源は、高エネルギーで高密度のプラズマを提供し、最適なエッチングとアッシング性能を保証します。取り外し可能なチャンバーは、ワークピースを固定し、理想的なチャンバー条件を提供し、異なるエッチング/アッシングプロセス間の交換を容易にします。このユニットには、効率的で正確な処理を保証するために、さまざまなプロセス制御および監視システムが装備されています。プレシソンプラズマ源は、高度なデジタル電源によって制御されており、各サイクルに正確かつ一貫した電力レベルを提供します。オンボードマシン診断システムは、ワークピース温度、プラズマ放電、エッチング/灰レート、およびその他の変数を監視し、プロセス逸脱の早期発見を可能にします。デバイスと環境の完全性を保護するための追加のツール安全機能が含まれています。TEL Unity EPは、プラズマエッチング、ウェットエッチング、物理エッチング、アイソレーションエッチングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング処理が可能です。プラズマエッチングと物理エッチングは、アセットのプログラマブル制御モデルを通じてサポートされています。複雑なエッチングおよびアッシングプロセスは迅速かつ正確に実行され、高スループットプロセスを可能にします。また、自動診断やインラインセンサーなどの高度な機能も搭載しており、プロセスのリアルタイム観察やエッチング/アッシングサイクルの制御が可能です。UNITY-EPは、堅牢で高精度な処理のために設計されています。この装置は、高度な微細加工技術とクローズドループ制御を備えており、高精度と再現性を提供します。このシステムは高出力効率であり、長いプロセスサイクルを可能にし、エネルギー消費を最小限に抑えます。ユニットに使用されるすべてのコンポーネントは、最高の性能と信頼性を確保するためにトップパフォーマンスをテストされています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EPは超高解像度処理に特化したエッチング/アッシュ機です。高度なプロセス制御システム、精密プラズマ源、取り外し可能なチャンバーを備えたこのツールは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに最適なエッチングおよびアッシング性能を保証します。このアセットは、高出力効率で信頼性が高く、高性能、高スループット処理のための堅牢なソリューションを提供します。