中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、高度で高性能な電子ビームエッチャー/アッシャーです。ハイスループット処理と低エネルギーエッチングを独自に組み合わせ、様々な素材に高精度なパターンを作り出しています。TEL Unity EPは、クローズドループ電子ビームスキャン装置と様々なパターン生成技術を駆使して、様々な基板上に微細な表面特性を作り出します。高精度を確保するために、極めて精密なビーム位置制御システムと高速ビームデフレクションコントロールユニットを搭載しています。クローズドループ電子ビームスキャン機は、広範囲に均一なエッチングパターンを提供することができます。また、同じビーム位置を一致させて再現性を確保することで、異なるプロセス特性を調整することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EPには強力な半導体パターンジェネレータが搭載されています。このパターンジェネレータは、シリコンベースのウェーハなどの材料に精密な機能をエッチングするために使用される非常に複雑なパターンを迅速に作成することができます。Unity EPによって作成された非常に詳細なパターンは、伝統的な「ブランキング」方法では不可能な高度なエッチング技術を可能にします。TEL UNITY-EPによるエッチングにより、処理温度が極めて低いハイスループット動作が可能です。この低エネルギーエッチング工程は、高温勾配による不均一エッチングのリスクを低減します。このエッチング効率により、基板のコア特性を維持しながら複雑なパターンを作成できます。エッチングされたフィーチャーの角度とアスペクト比を制御するだけでなく、エッジのシャープネスを検出することもできます。TOKYO ELECTRON Unity EPには、高解像度の映像ビジュアライゼーションツールと正確なビームエネルギー制御機能も搭載しています。このアセットにより、パターン作成の精度が向上し、ウェーハ全体のパターンを適切にマッチさせることができます。全体として、UNITY-EPは強力で高精度な電子ビームエッチャー/アッシャーであり、超精密なパターンを作成するための業界標準と考えられています。