中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、半導体産業を対象とした最先端のエッチャー/アッシャーです。エッチング率を高め、均一なエッチングと優れたプロセス再現性を提供する高度な機能を備えたツールです。電子ビームとイオンビーム出力のデュアルエネルギー動作を利用して、材料の正確なパターニングを行います。これは、欠陥を最小限に抑えた高収率パターンを生成するための強力なツールです。TEL Unity EPの主な特長は、放電チャンバーと積層構造処理シーケンスです。放電チャンバーには高効率の絶縁体が並んでおり、熱改善を防ぎながら、高効率のガスチャンバーはエッチングやアッシングプロセスに最適な精度を提供します。これは、2段階のエッチング（またはアッシング）を可能にする高精度の3次元パターニングで可能になります。東京エレクトロンユニティ-EPは、物流タイプのガス供給と、新たに設計された注入システムを備えたガス供給設備の改良も行っています。前者はより均一なガス供給を提供し、後者はより高いガス圧力を提供し、幅広い基板上で均一な処理を可能にします。Unity EPは、高度なパフォーマンス制御ソフトウェアであるMulti-Etch Plan （MEP）の使用もサポートしています。これにより、デバイスのエッチングおよび基板温度、エッチング速度、ガスミックス設定を簡単に制御できます。追加ボーナスとして、MEPを使用して最大20日間データを保存することができ、ユーザーはエッチプロセス履歴を記録して追跡することができます。TEL UNITY-EPは標準的なデバイス管理ユニットも備えています。これにより、デバイスのリモート操作が可能になり、デバイス固有のハードウェアおよびソフトウェア情報に関する情報も含まれます。最後に、包括的なメンテナンス機があります。このツールを使用すると、オペレータはエッチングとアッシュ処理、エラー履歴、および定期メンテナンスを管理および監視できます。結論として、UNITY-EPは、均一なエッチングと優れたプロセス再現性を提供することに焦点を当てた高度なエッチャー/アッシャーです。その高度な機能により、材料の精密パターニング、ガス供給システムの改善、包括的なメンテナンス資産を可能にします。このエッチャー/アッシャーは、欠陥を最小限に抑えて高収量パターンを生成する強力な能力を備え、半導体産業に不可欠なツールです。