中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9161272 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP （Electron Beam Particle Etcher/Asher）は、金属、セラミック、ポリマーなど多種多様な材料をエッチングできる高精度で汎用性の高いデバイスです。TEL Unity EPは、他のエッチャーとのマッチングが難しい、使いやすさと品質でエッチングが可能です。TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、最大2ミクロンの超精密マイクロマシニング精度により、優れた再現性と高耐久性により、より深く細かい機能を実現します。Unity EPは、他のエッチャーと比較して多くの異なる利点を提供します。スキャンeビーム技術により、そのパワーと解像度がさらに向上し、最小限の機能サイズで素早くエッチングできます。その可変粒子出力とたわみ装置制御はまた、エッチング速度と最適化を最大化することができます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EPのクローズドループ熱制御により、ウェーハ加熱を低減し、より一貫した結果を生み出し、プロセスの再現性を向上させます。TOKYO ELECTRON Unity EPは、金属、セラミックス、ポリマー、さらには多層フォトマスクなど、さまざまな材料をエッチングする機能を提供します。この汎用性により、エレクトロニクスからナノテクノロジーまで、幅広い業界で貴重なツールとなります。さらに、高度なビームスポットフォーカシングシステムにより、温度補償やチャンバー圧力制御と相まって優れた結果が得られます。高精度エッチング機能に加えて、UNITY-EPには高度なプロセス制御を可能にする多数の機能が搭載されています。例えば、同時処理アプローチにより、最大4つの基板を同時にエッチングすることができ、サンプル操作ユニットは迅速なウェハローディングとアンロードのために設計されています。また、オンザフライエッチングや複数のビームの使用などの高度なエッチング技術のための高度なソフトウェア制御を利用しています。最後に、部品のメンテナンス機能には、最適な基板性能のための洗浄、改修、スパッタリングが含まれます。TEL UNITY-EPは、幅広い用途に適した信頼性と汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。精度と再現性に優れたエッチングが可能で、ほぼ完璧な微細加工結果が得られます。シンプルでパワフルな制御システムと並行プロセスのアプローチにより、エッチング速度とプロセスの最適化を最大化できます。TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、これらの機能を高度なビームスポット集光機と組み合わせることで、最新のマイクロマシニングおよびエッチング用途において貴重なツールとなります。