中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9144791 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、高性能・多機能エッチャー/アッシャーです。これは、信頼性が高く、コスト効率が高く、幅広いプロセス能力をユーザーに提供するように設計されています。TEL Unity EP機器の基盤となるアーキテクチャは、ガス供給制御システム、プロセスモニター、コントロールコンソールユニットなど、複数の特殊なソースコントローラボックスを中心に構築されています。この統合アーキテクチャは、プロセスの最適化を容易にし、ユーザーのインタラクションを最小限に抑えるだけでなく、優れたユニットパフォーマンスをもたらします。東京電子ユニティ-EPエッチャー/アッシャーは、プロセス能力において、エッチング/ドライビングケミストリーにおいて高いエッチング/ドライビングファクターを提供することができます。温度は100〜500°C、入口圧力は0。5 Paまでで、Si、 GaAs、 InPなど様々な材料からウェーハを加工することができます。様々なガス配管モジュール、メカニカルパイプチェンジャー、リモートアクセスモジュールなど、TEL UNITY-EPエッチャー/アッシャーをカスタマイズするためのさまざまなオプションが用意されています。さらに、このマシンは柔軟性があるように構築されており、レーザー干渉計、ドアロックツール、または自動パルスパイロットアークなど、さまざまなオプションとアップグレードを統合することができます。最後に、TEL/TOKYO UNITY-EP etcher/Asherは、豊富な安全機能、開始/ミュート機能、オプションのオートパルスアセットアセットなど、いくつかの設計機能を通じて、高いレベルの安全性と信頼性を確保するように設計されています。この目的のために、国際的な安全規制や規格にも準拠しており、安全で効率的なエッチング/乾燥プロセスを提供します。TOKYO ELECTRON/TOKYO Unity EP etcher/Asherは、高性能で堅牢なプロセス機能を必要とする要求の厳しいエッチング/乾燥アプリケーションに最適です。エネルギー効率に優れたフレーム、信頼性の高いアーキテクチャ、直感的なコントロールを組み合わせることで、使いやすく高効率な製品を実現し、半導体業界のプロフェッショナルに最適な選択肢となります。