中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EPは、エレクトロニクス製造用途向けに設計された高精度エッチング/アッシング装置です。100nmの制御安定性を持つ高精度エッチング/アッシングシステムを搭載し、200nm〜10mmの厚さの半導体基板のエッチング/アッシングが可能です。TEL Unity EPにはアスペクト比ウィンドウ（CARW）が連続的に調整可能で、ユーザー定義のアスペクト比ウィンドウを確立できます。これにより、特定のデバイスジオメトリの正確なエッチング/アッシングが可能になります。また、高解像度レーザーベースのアライメントマシンを搭載し、精度と信頼性を向上させています。TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、エッチング/アッシング性能を向上させる高真空（<25mbar）を採用しています。これにより、クリーンで効率的なエッチング/アッシングサイクルが保証されます。また、このツールには高真空ロードロックが搭載されており、ウェーハの資産への安全な転送が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、高速動作を可能にする高度なモーションステージコントローラ機能を備えています。高精度の電気機械位置決め装置を搭載しています。これにより、エッチングまたはアッシュされたパターンの正確な配置が保証されます。TOKYO ELECTRON Unity EPは、あらかじめプログラムされたカスタマイズ可能なエッチング/アッシングプロセスを制御するための強力なソフトウェアスイートです。これには、高度なプロセス制御機能が含まれます。ソフトウェアには、エッチング/アッシュ処理のセットアップを簡素化し、ユーザーに高度な監視と制御機能を提供するグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。TEL UNITY-EPは柔軟性が高く、さまざまな製造アプリケーションに適合するように構成することができます。シリコン、化合物半導体、III-V材料など、さまざまな基板のエッチング/アッシングに使用できます。また、1つのウェハ上で複数のエッチング/アッシュ処理を実行するためにも使用できます。UNITY-EPは、重要なエレクトロニクス製造アプリケーションに必要な柔軟性と精度をユーザーに提供する信頼性の高い高性能エッチング/アッシングシステムです。