中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EPは、半導体市場向けに設計された最先端のエッチャーまたはアッシャーです。比類のない処理能力を備えたTEL Unity EPは、アプリケーションに関係なく、正確で反復可能なデバイスジオメトリを保証します。TOKYO ELECTRON UNITY-EPは、モジュラー性の高いデザインコンセプトに基づいており、幅広いニーズに対応することが可能です。このシステムは、プロセスチャンバー、電源、および微細加工センターの3つの主な機能で構成されています。さらに3つのモジュールが追加され、ウェハ処理、ウェットベンチクリーニング、エッチング検出機能などの追加機能を提供します。TEL UNITY-EPのプロセスチャンバーは、ステンレス鋼から高温膨張係数で構成されています。チャンバーは、積極的な処理条件に耐えるように設計されており、メンテナンスなしで最大1年間連続的に動作することができます。トップマウントのロードロックにより、高速処理と基板への迅速なアクセスが可能です。TOKYO ELECTRON Unity EPに採用されている電源は、4段階のDCパルス制御システムで、幅広いプロセス条件にわたって精密かつ反復可能なエッチングパラメータを生成できます。これにより、正確な形状と正確な密度制御が保証されます。UNITY-EPの中心には、最新技術をベースにした微細加工センターがあります。この微細加工コアには、高度なローカルおよびグローバル温度制御、高度なプロセスモニタリング、およびPD検出が含まれています。このシステムにはレシピエディタも含まれており、ユーザーはエッチレシピをセットアップして自動化することができます。Unity EPの3つの追加モジュールは、追加の処理機能を提供します。ウェーハ処理モジュールは、プロセスのスループットを最大化し、粒子の汚染を排除するように設計されています。ウェットベンチクリーニングモジュールは、クリーンで効率的な方法で正確なエッチングを保証するのに役立ちます。最後に、エッチセンシングモジュールは、重要なエッチパラメータの正確な監視と検出を提供します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP from TELは半導体業界で使用するために設計された高度なエッチャーまたはアッシャーです。それはよく油を塗られた機械のように機能し、プロセス条件にもかかわらず精密で、反復可能な幾何学および密度制御を提供します。ユニットはさらに強力なハードウェアとソフトウェアモジュールのクラスタに支えられており、ユーザーはユニットのニーズに合わせて調整することができます。