中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity DRM #293807030 を販売中

ID: 293807030
Etcher AC Rack type: ECC V1 TMP / Robot: ET600W.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY DRM (TEL/TEU DRM)は、より高いプロセス歩留まりとデバイス性能を実現する半導体業界の先進エッチングツールです。エッチング機能とプロセス制御を組み合わせた、完全に自動化されたソフトウェアベースのソリューションです。この装置は、さまざまなウェーハ表面をエッチングする一貫した反復可能な方法を提供します。当社独自の「TOKYO ELECTRON/TEU3000s」を活用し、すべての材料に精密で再現性のある結果を提供します。このエッチャーは、高精度、高純度、高均一性でエッチングするように設計されています。狭いワークスペースに収まる設置面積が小さく、リアルタイムでパラメータを調整するリモートコントロールを備えています。エッチャーはまた、生産ラインのスループットを最適化するのに役立つ特別なエネルギー割引ユニットを通じて、高いレベルの均一性を維持します。TEL/TOKYO ELECTRON/TEU3000sはTEL/TEU DRMと完全に統合されており、パターンの解釈、デザインの認識と保存、パラメータの制御が可能です。このツールは、エッチング時間、温度、化学、抵抗、電圧、電流、電力など、幅広いデータをキャプチャします。このデータは分析され、エッチング速度、エッチング圧力、エッチング角度などのパラメータを調整するために使用されます。これにより、アセットは最適化されたエッチングプロセスを提供し、歩留まりの向上と製品パフォーマンスの向上をもたらします。TOKYO ELECTRON/TEU DRMには、プロセスにアクセスし、設定し、監視するための包括的なユーザーインターフェイスが付属しています。このユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーはエッチングパラメータにアクセスしたり、エッチングの進行状況を確認したり、問題が発生した場合のトラブルシューティングを行うことができます。さらに、インターフェイスはネットワークに接続されたストレージデバイス上で動作するように最適化されています。これにより、TEL/TOKYO ELECTRON/TEU DRMは、リモート監視とプロセスの可視性の向上を実現します。追加の制御、柔軟性、セキュリティのために、モデルは高度なセキュリティプロトコルでホームネットワークに接続することができます。これにより、ユーザーはどこからでも機器を制御および設定できます。さらに、TEL/TEU DRMには、エッチャーを使用している間に薬品と接触しないようにする高度なハンドリングシステムなど、いくつかの安全機能も搭載されています。TOKYO ELECTRON/TEU DRMは、プロセス収率の向上とデバイス性能の向上を可能にする高度なエッチングユニットです。これは、独自のエッチャーを利用し、データ制御、カスタム動作パラメータ、および包括的なユーザーインターフェイスの広い範囲を提供しています。さらに、リモートモニタリングと高度な安全機能により、柔軟性とセキュリティを提供します。
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