中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 88DD #146068 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 88DDは、高度な半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。非常に大きなアノードサイズのハンドヘッド光学ヘッドは、高アスペクト比の機能の効率的なエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。このエッチャー/アッシャーは、ディッシュ、サイドウォールの粗さ、エッチングの損傷を最小限に抑え、正確な結果を提供する2段階のエッチング処理を備えています。これにより、高いトポグラフィーと高いアスペクト比と高いアスペクト比の直線性が可能になり、歩留まりが向上します。さらに、TEL Unity 88DDの高解像度光学ヘッドは、あらゆるエッチングおよびアッシング用途に優れた解像度と鋭いエッジ定義を提供します。また、TOKYO ELECTRON UNITY 88DDは、プロセスの柔軟性を可能にし、すべてのドライエッチング用途の選択性を向上させる高温アルゴンプラズマ源です。アクティブなリフトオフ機能は、センチメートルレベルの深さに達する構造を作成するために利用可能であり、より大きなプロセスの再現性、均一性、および制御を可能にします。Unity 88DDの高度なシステム管理には、プロセス、セットアップ、レシピデータ、および温度および圧力監視システムを表示するホストコンピュータが含まれます。これにより、複数のパラメータを同時に監視し、同時にパラメータを表示してプロセスの完全な精度を保証できます。リモートオペレーターインターフェイスは、すべてのコンポーネントに即座にアクセスし、効果的なプロセス管理とトラブルシューティングを容易にします。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 88DDは、長期的な信頼性と信頼性のために設計されており、最大10万回のライフサイクルで、ユーザーに最高の信頼性とパフォーマンスを提供します。TEL Unity 88DDは、先進的な半導体加工のための最先端のエッチングおよびアッシャー用途に最適な選択肢です。