中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DP #9083612 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DPは、TEL （TOKYO ELECTRON）が半導体製造用に提供するリーディングエッチャー/アッシャーです。この高度なツールは、シリコン、石英、アルミニウム、金属酸化物半導体（MOS）材料など、いくつかの材料からウェーハを処理するのに理想的な選択肢となる多数の強力な機能を提供します。TEL Unity 85DPは、最大15ポケットの自動ウェハハンドリング装置を備えた2ポケットエッチャー/アッシャーです。このツールは、2つのエッチング/アッシャーサイクルごとに最大8つのウェーハを処理する機能を備えています。高効率の8段マルチエレメントコンデンサアレイを搭載し、溶液の流れ、温度、圧力を正確に制御できます。また、タイトなプロセス仕様を満たすために、さまざまな材料の迅速なエッチングを提供することができます。TOKYO ELECTRON UNITY 85DPは、自動化された運用・保守機能を提供する高度な制御システムを備えています。これは、効率的なデータ転送のためのグラフィカルユーザーインターフェイス、並列およびシリアル通信ポートが装備されています。また、プロセスコードとトレースファイル形式ファイルを格納するための内蔵メモリを備えたデータロギングとトレーサビリティも提供します。Unity 85DPには、危険な化学物質を取り扱う危険からオペレータや環境を保護する幅広い安全機能があります。温度安定装置、残留洗浄機、粒子濾過機、再循環ツール、自動圧力解放アセットなどの安全機能を内蔵しています。このツールには、ウェーハの特性と結果に関する詳細な情報を提供する有用な生産データレポート機能もあります。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DPは、より効率的で費用対効果の高い半導体製造プロセスのために、多種多様な材料のエッチングとアッシングにおいて高度な性能を提供します。自動化された操作と安全機能により、オペレータは安心して作業でき、品質と信頼性を保証できます。TEL Unity 85DPは、包括的な監視およびデータロギング機能を備え、プロセスを最大限に効率的に最適化および制御するためのツールを提供します。