中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI #9092959 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DIは、精度、信頼性、性能に優れた専用エッチング/アッシング装置です。フォトマスク製造のためのハイエンドなツールであり、特に半導体およびMEMS業界において使用されています。このシステムは、ユーザーがエッチングパターンの幅、深さ、および均一性を正確に制御できるさまざまな機能を提供します。TEL Unity 85DIは、VMT （Volume Manufacturing Technology）を採用し、露出とエッチングの各段階を正確に制御します。これには、均一性を最大化し、細かいパターンを正確に解決することが含まれます。SxVマスクアライナーやEビームライターなど、さまざまな露出ツールを使用してフォトマスクを作成できます。このユニットは、パターンを1つのステップで薄いレジストフィルム基板に正確に変換するように設計されています。TOKYO ELECTRON UNITY 85DIは、プラズマサブアッシャー、プラズマアッシャー、ウェットプロセスプロセッサなど、さまざまなエッチング技術をサポートしています。例えば、プラズマサブアッシャーは、高度なプラズマエッチングとドライエッチング、ドライアッシング、ドライストリッピング機能を提供します。これらのツールは、特にMEMS製造などのアプリケーションで、小さなコンタクトパターンを作成するのに便利です。Unity 85DIはまた、安全性と環境機能の包括的なスイートを提供しています。これらには、流体ろ過機や化学廃棄物処理工具など、複数の化学封じ込めシステムが含まれます。さらに、このツールは、ウェーハ間のクロスコンタミネーションのリスクを低減するために、グローブ汚染制御（GCC）を搭載しています。さらに、この資産はユーザーフレンドリーで効率的に設計されています。直感的なGUIを搭載し、オペレータはインラインセンシングとプロセス監視機能を提供します。これにより、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセス全体をリモートで観察することができます。このモデルはまた、生産フローの管理と最適化に役立つさまざまなハイエンドのオートメーションオプションも提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DIは、高精度・高信頼性・高性能なフォトマスク加工・MEMS加工に最適なツールです。また、優れた安全機能と生産プロセスを最適化する機能をユーザーに提供します。全体的に、TEL Unity 85DIは、あらゆる製造ラボに貴重な追加することができます。