中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD #293827845 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DDは、半導体ウェーハの製造・製造に使用される自動プログラマブルエッチャー/アッシャーです。本機は、ロードロックチャンバー、静電チャック、リアクティブイオンエッチング（RIE）プロセス、物理蒸着（PVD）システムの4つの基本コンポーネントで構成されています。ロードロックチャンバーは、基板の積み下ろしを可能にする超高真空条件を備えた密閉環境です。内部温度は可変であるため、異なるアプリケーションが実行される可能性があり、ワンフォローアプローチによってエッチングガスのロードとアンロードが可能になります。静電気チャックにより、エッチング/アッシング処理中にウェハを所定の位置に保持することができます。RIEプロセスはエッチングに使用され、物理蒸着（PVD）はアッシング処理に使用されます。RIEプロセスでは、基板とチャックの間に電圧を印加し、電界を形成します。この電界は、基板を取り巻く堆積材料を変位させるプラズマ放電を作成することができます。PVDプロセスは、高エネルギー源でガス分子の衝撃を介して材料の層の作成を含みます。このエネルギー源は、TEL Unity 85DDアッシャー/エッチャーの場合、アルゴンイオンなどの高周波電源またはイオンビームエネルギーになります。TOKYO ELECTRON UNITY 85 DD独自の機能により、自動化されたハードウェアと高度なソフトウェアにより、プロセス時間を最適化できます。デバイスのインタフェースには、静電容量式タッチパネルと、アプリケーションのさまざまな段階を監視するセンサーが含まれています。このデバイスは、特定の用途に応じて、最大8インチまでのウェーハサイズに対応でき、エッチングの均一性、エッチング速度、プロセス時間、およびより高い歩留まりのための粒子制御を最適化する機能を備えています。全体として、TEL UNITY 85 DDは半導体ウェーハの製造と製造のために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは直感的なユーザーインターフェイス、自動ハードウェア、統合ソフトウェアを備えており、プロセス時間を最適化できます。8インチまでの基板サイズに対応でき、エッチングの均一性、エッチング速度、プロセス時間、特定の用途でのより高い歩留まりのための粒子制御などの機能を備えています。