中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #9383235 を販売中

TEL Unity 85DD/W1は、半導体製造に使用されるエッチャー/アッシャー、またはプラズマエッチャーの一種です。エッチング、書き込み、プロファイル機能を高精度かつ再現性で作成できるように設計されており、複雑なパターンを使用しても、一貫した正確なプロファイル作成が可能です。Unity 85DD/W1は、様々なエッチング、燃焼、プロファイリング領域にわたって素材を迅速かつ正確に除去するために、指向性エネルギー蒸着と呼ばれるプロセスを使用しています。このユニットには12インチのウェーハ搬送システムとガスシーケンシングシステム（GSS）が装備されており、各チップのプロセス条件を最適に制御し、高精度の指向エネルギー蒸着を実現しています。室温から500°Cまでの温度制御と幅広いエッチングガスにより、複雑なパターンでも高速エッチングと燃焼時間を実現します。最も精密なエッチングと燃焼を保証するために、Unity 85DD/W1はまた、エッチング濃度を測定し、エッチング工程を監視するために使用されるin-situ分光計を提供します。分光計はまた可能な限り最も一貫したプロセスを保障し、必要ならば顧客の要求を満たすためにカスタマイズすることができます。TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1には、自動蒸着制御ユニット（ADCU）が搭載されており、エッチングまたは燃焼パラメータを自動調整し、可能な限りエネルギー効率の高い方法で信頼性の高い堆積物を実現します。ADCUは、多くのセンサとフィードバックループを利用して、安定した温度と最適な蒸着エネルギーを維持します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1は、要求の厳しい半導体製造ニーズに対応した、高精度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。パワフルな指向性エネルギー蒸着システム、in-situ分光計、自動蒸着制御ユニットにより、高精度で高品質なエッチングと燃焼結果を得ることができます。これにより、最も複雑で複雑なパターンを作成するのに最適です。