中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754 を販売中

TEL Unity 85DD/W1は、超高スループット・アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。生産スループットの向上と高度なウエハレベルのプロセス制御により、高度な機能を提供します。Unity 85DD/W1には、強力なプラズマ源、低圧ドライガスチャンバー、高度なウェーハアライメントシステム、個々のプロセスステップを正確に制御するための微細なプログラマブルデジタルロジックが装備されています。Unity 85DD/W1のソースオプションは、RFとDCの両方です。導体、誘電体、有機物など、さまざまな材料をエッチングするために使用できます。RFソースは、600kHz〜200MHzの周波数範囲で動作し、層をきれいにし、剥離し、金属などの硬質材料でより深いエッチングを達成するために使用できます。DCソースは低周波（最大5kHz）で動作し、有機物などのより柔らかい材料のエッチングやミクロンスケールのエッチングに使用できます。Unity 85DD/W1は、チャンバにプロセスガスをエッチングしながら0。25 torr以上の圧力を維持できる低圧乾燥チャンバを提供します。部屋圧力は自動的に監視され、制御されます；これにより、プロセスの正確な再現性と制御だけでなく、より正確なウェーハアライメントを可能にします。Unity 85DD/W1には大きなデジタルロジックが内蔵されており、ユーザーのニーズに応じてカスタムエッチングやストリップシーケンスを柔軟にプログラミングできます。デジタルロジックはまた、高速で優れたデータ処理機能を提供し、即座に正確なパフォーマンス調整を可能にします。Unity 85DD/W1には、高度なウェーハアライメントシステムもあります。ウェーハはまずウェーハカセットに積み込み、高精度トロリーに積み込み、エッチャーチャンバーに移動します。ロボットアームはトロリーの位置に移動し、エッチングする前にウェーハを正確に整列させます。Unity 85DD/W1は、機能と機能の印象的な範囲を持つ高度なエッチャー/アッシャーです。高度なプラズマソース、低圧ドライチャンバー、デジタルロジック、ウェーハアライメントシステムにより、高精度制御による超高スループットプロセスを実現します。Unity 85DD/W1は、高度なアプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。