中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #293594402 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DDは、SiO2からポリシリコンまで幅広い素材に対応したエッチャー/アッシャー装置です。誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーシステムで、様々な基材を精密にエッチングすることができます。また、ダウンタイムを最小限に抑え、高い稼働効率を維持するセルフクリーニング機能を搭載しています。TEL Unity 855DDは、石英、メガネ、金属などの基板に対応し、様々な機能を備えています。その処理能力には、酸化物層、ポリシリコン層、窒化ケイ素層、屈折率のエッチングが含まれます。誘電体、ポリイミド、低/高k薄膜にも対応しています。基板の高精度パターニングやプロファイリングにも使用されています。TOKYO ELECTRON UNITY 855DDには、ICPプラズマ源の周波数反射を大幅に低減できるトリプル周波数発電機と周波数マッチングモードが搭載されています。また、内蔵の周波数チューナーにより、正確なICPプラズマソースマッチングを実現します。また、マシンはエッチングレートをスピードアップまたは遅くすることができます。利用可能な調整オプションの多数は、要件に応じて、異なる材料のエッチングプロセスを最適化します。Unity 855DDはインテリジェント制御ツールも備えており、プロセスの最適化を支援します。これは、エッチング処理が可能な限り最高の精度で行われるようにするのに役立ちます。インテリジェント制御アセットは、欠陥の可能性を低減するのに役立ち、エッチングのエラーを検出して補償することができます。このモデルを使用すると、以前のジョブパラメータを呼び出すことができ、エッチングの新しいバッチを設定するときに迅速かつ効率的な操作が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DDは、市場で最も先進的なエッチングシステムの1つで、多種多様な素材の効率的かつ精密なエッチングが可能です。その汎用性の高い機能は、多数の製造プロセスに有用なツールとなります。TEL Unity 855DDは、様々な最適化・制御機能を備え、あらゆるエッチングジョブに最適な結果を得ることができます。