中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 65DI #293643505 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity 65DI
ID: 293643505
ヴィンテージ: 1997
Dry etcher 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 65DIは、半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。幅広い半導体アプリケーションに精密かつ均一なエッチング結果を提供するように設計されています。このシステムは、最大直径8インチのウェーハをエッチングすることができ、高度なマイクロプロセッサ制御ユニットで動作します。このマシンの主な特徴の1つは、同じウェーハの複数の実行または異なるウェーハバッチ間で均一で一貫したエッチング結果を簡単に生成できることです。これは、工具の精密光学系のおかげで、プロセス変動を低減しながらスループットを向上させます。アセットには専用の負荷とアンロードインターフェイスも備えており、バッチ処理を迅速かつスムーズに行うことができます。TEL Unity 65DIは、緊急モードの遮断、自動消火モデル、独立した冷却装置、緊急パージシステムなど、高度な安全機能も備えています。これらの機能により、ユニットの安全で信頼性の高い動作と、より高いレベルのプロセス品質が保証されます。さらに、このマシンには多くのユーザーフレンドリーな機能が装備されています。このツールは、ウェーハサーフェスタイプを検出し、プロセス設定を自動的に調整して均一性を向上させます。これにより、実行ごとに手動で設定を入力する時間が短縮されます。この資産はまた、メンテナンスリマインダーと健康チェックを提供し、根本的な問題をユーザーに警告します。TOKYO ELECTRON UNITY 65DIは、幅広い半導体アプリケーションに精密かつ均一なエッチング結果を提供する、汎用性とユーザーフレンドリーなエッチャー/アッシャーモデルです。その高度なマイクロプロセッサ制御装置と精密光学は、高いレベルのプロセス精度と一貫性を提供します。このシステムは、安全性とユーザーフレンドリーな機能も多数備えており、エッチングのニーズに合わせて信頼性が高く効率的に選択できます。
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