中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM #9145467 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRMは、半導体基板のエッチングおよびアッシング回路に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。それは市場の同じような機械より有効、精密である新しい設計を特色にします。TEL UNITY 2 E DRMは、高精度なアライメントと制御された動きを実現するための改良されたワークテーブルを備えた二軸駆動装置を備えています。これは、2つのリニアスライドとロータリーテーブルを組み込むことによって有効になります。この機能により、精度と再現性が向上し、小さなパターンや機能をエッチングおよびアッシングするために必要です。高度なサーボシステムを採用し、オペレータ制御を改善し、ジョブが適切かつ効率的に実行されることを保証します。TOKYO ELECTRON UNITY 2 E： DRMには、生産性と品質を最大化するためのさまざまな機能も含まれています。特許取得済みのシャドウマスクユニットを搭載し、クイックエッチング/アッシュサイクルの変更と簡単なクリーンアップを可能にします。内蔵のフィードバックマシンは、エッチングパラメータを監視し、必要に応じて自動的に設定を調整します。さらに、TEL UNITY 2E DRMは自動熱補償機能を使用して、プロシージャ全体で確立されたエッチングパラメータを維持します。TEL UNITY 2 E： DRMはまた、高精度のウェーハアライメントツールを使用しています。このアセットはレーザーと紫外線を使用して、エッチングとアッシングのためのウェーハを正確に整列させます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E： DRMは、BGAやパワーチップなどの複雑なパターンの基板にも対応可能です。UNITY 2E DRMは、最高の精度と効率を目指して設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高度な二軸駆動モデル、フィードバック装置、ウェーハアライメントシステムにより、オペレータの躊躇を最小限に抑えながら、正確かつ再現性の高いエッチングとアッシングを実現します。基板エッチングやアッシングに信頼性の高い精密機械が必要な方に最適です。