中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SS #293657483 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SSは、産業用エッチングおよびアッシングプロセスにおける精密な結果を得るために設計された、高度で安定したエッチャー/アッシャーです。この装置は、高度なリムーバブルエッチモジュールと強化された基板温度と均一性制御を組み合わせて、最適な性能を保証します。TEL UNITY 2E 855 SSは多種多様なプロセス機能を備えており、最大スループットでエッチングおよびアッシングアプリケーションに対応できます。このエッチャー/アッシャーは、高品質の水晶チューブクラスター設計を備えており、同時エッチングおよびアッシング用途向けのウェーハ加熱を最小限に抑え、優れた温度均一性を提供します。また、2バーの強制対流支援システムを備えており、最大単位効率と優れた温度制御を可能にします。東京電子ユニティ2E 855 SSには新たに開発されたネットワーク集中制御機があり、リモートコンピュータからすべてのプロセスを監視することができます。また、調整可能なバルブを備えた精密圧力コントローラを備えており、オペレータはスループットを向上させるために最適な圧力範囲を設定することができます。さらに、このツールには直感的なコントロールがあり、オペレータは素早く簡単にパラメータを入力できます。これは、セットアッププロセスを簡素化する高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。UNITY 2E 855 SSは、より高いスループットと品質の結果を通じて、プロセスエンジニアが歩留まりを向上させ、コストを削減できるように設計されています。また、クリーンルームの互換性のある設計、大きな囲まれたチャンバー、スマートアクセスポートのおかげで、安全性を向上させます。アセットには、高度な濾過モデルと、統合されたリーク検出とBEF補償もあります。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SSは、半導体業界およびその他の産業用途において、エッチング、アッシング、沈着プロセスの優れた品質を提供します。高度なエッチングモジュール、温度均一制御、直感的な制御を組み合わせた最先端のツールで、エッチングおよびアッシングプロセスで最高の精度と精度を実現します。