中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI #9285005 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DIは、半導体業界で使用される高性能エッチング装置です。このシステムは、シリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素、金属など、さまざまな材料の高精度構造のエッチングに最適です。単位は10から1000nmの間の特徴のサイズを作り出すことができ乾燥した、ぬれたエッチングのために使用することができます。機械は2つの主要な部品から成っています；エッチングチャンバーと電源。エッチングチャンバーは、エッチングのための高真空環境とエッチング材料の保護雰囲気を提供します。電源は、エッチングプロセスを活性化するための交流電界を生成する高周波発生器とパワーコントローラで構成されています。電気エネルギーはエッチングチャンバーに反映され、反応種をワークに向けて駆動するために使用されます。このツールはプロセスガスインレットを備えており、CF4、 CHF3、 ArClなどのさまざまなガスを処理することができます。これらのガスは、エッチング室で様々な化学種を形成するために使用されます。チャンバーには、ワークピース全体の均一なエッチング分布を確保するために、チャンバー内のプロセスガスとエネルギーイオンを循環させる攪拌アセットが装備されています。最も重要なのは、TEL Unity 2E 855 DIは高精度で正確な制御が可能です。数値制御モデルは、周波数や電流レベルなどの電気的パラメータを変化させ、エッチング速度を調整および維持することができます。さらに、圧力、温度、ガス流量などのエッチングプロセスパラメータを正確に制御することができます。東京エレクトロンユニティ2E 855 DIは、マイクロエレクトロニクス業界の精密微細構造に使用される高度な高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、ワーク全体の均一なエッチング分布と均一なエッチング組成のために、パラメータを正確に制御することができます。生成された交流電界はエッチング処理を活性化し、エッチング速度を正確に制御し、高精度の微細構造を可能にします。