中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9290492 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DDエッチャー/アッシャーは、半導体包装などの先進的な用途向けに設計された高度な化学加工ツールです。本製品は、TEL VCR （Vacuum Corrosion Remediation）技術に基づいています。エッチャー/アッシャーは、専用の真空源を提供するシングルチャンバーシステムであり、エッチングとアッシングの両方のプロセスを同じチャンバーで行うことができます。これにより、従来のマルチチャンバーシステムと比較して、コンパクトなフォームファクタで優れたプロセス制御と低汚染を実現します。エッチャー/アッシャーは、効率的なイオン爆撃を可能にする高エネルギー、マイクロ波動力イオン源を備えているため、優れたプロセス制御と複数の材料の精密エッチングが可能です。また、統合された酸素注入システムを通じてアッシャーとして機能し、低濃度酸素制御プロトコル（OCP）の技術的優位性を備えた部品の優れた洗浄を提供します。エッチャー/アッシャーには、エッチングとアッシングの精度と柔軟性をさらに向上させる追加機能があります。これらには、可変周波数電源、プロセス制御改善のための高度なノズル設計、プロセス制御改善のための特許取得済みのDCMC（拡散冷却およびマイクロ波接続）技術、マルチゾーンガス流量調整システム、およびプロセス制御のためのさまざまなノズル先端が含まれます。エッチング/アッシャーのコンパクトな設計は、デバイスに信頼性と柔軟性を追加し、パネル、基板、ウェーハなどさまざまなフォーマットを使用することができます。この機能は、標準のオートメーションプラットフォームとの互換性、およびユーザーフレンドリーな機能とオートメーション機能による安全性の向上により、ファクトリーオートメーションも提供します。TEL UNITY 2E 855DDエッチャー/アッシャーは、高度なエッチング/アッシャー・ソリューションで、従来の複数チャンバー・システムよりも優れた柔軟性、プロセス制御、信頼性を提供します。マイクロ波イオン源、可変周波数電源、高度なノズル設計により、あらゆる半導体包装およびエッチング/アッシャー用途に最適です。また、フットプリントの小型化、安全機能の向上、ファクトリーオートメーションの互換性により、ユーザーにとっても魅力的なオプションです。