中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9285006 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DDは、高性能な生産グレードの結果を提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。基板の成形や積み重ね、アッシング・エッチング機能などに使用されています。エッチャー/アッシャーは、メインエッチング/アッシュラックとオフラインサンプルアッシング/エッチラックを含む2つのラックシステムです。エッチング/アッシングラックは、高解像度のダイレクトドライブスリットバルブ技術を備えており、最適な処理環境を維持しながら、正確なエッチング/アッシング制御と精度を保証します。このユニットには、高速均一で正確な基板幾何学的マッピングを可能にする高出力の多軸回転ウェハスピンモジュールも含まれています。この機械には、エッチングとアッシングの両方のメカニズムにデュアルガス源を提供する高性能ガスパネルツールが装備されています。このアセットは、ガス流量を最適化し、適切な流量レギュレータを維持するために使用できるインテリジェントガスセレクターと再生ガス精製モジュールを備えています。さらに、高純度源ガスは、中央に配置されたガス配送モデルとカスタムビルトガスマニホールドを介して供給され、より高い一貫性とパフォーマンスの結果を保証します。装置は標準的なエッチング/灰のプラットホームを提供する標準サイズ4「によって8」電気静的な水晶管が装備されています。このシステムはまた、均一で一貫したプロセスのための空気供給を同期させるカスタムビルドのマッチングチャンバーと、優れた温度安定性のための真空密封チャンバーとワイドスペクトルサセプタコイルを備えています。このユニットは、Ar、 CO、 O2からSF6、 CH4、 NF3、 N2Oなどの高度な化学物質まで、幅広いプロセスガスに対応しています。また、同期圧力機と自動化されたプロセス制御ツールにより、高精度のプロセス監視と制御を実現しています。全体として、TEL UNITY 2E 855DDは、高性能と生産グレードの結果を提供する高度なエッチャー/アッシャー資産です。このモデルは、優れた再循環ガス制御、高分解能スリットバルブ技術、多軸回転ウェーハスピンモジュールを備えています。さらに、インテリジェントガスセレクターと再生ガス精製システムは、反応性と一貫したプロセス安定性を維持するように設計されています。カスタマイズされたマッチングチャンバーとワイドスペクトルサセプタコイルにより、優れた温度制御と高精度プロセスモニタと制御を実現します。