中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145476 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DDは、高度なデバイスの高精度エッチングと新しいプロセスの開発を目的とした本格的なドライエッチング装置です。金属、セラミックスなどの薄層の精密かつ正確なエッチングを可能にする、幅広い効率的な機能を備えています。このシステムは、2つの強力なエッチング源DIST-XとDIISETを統合して、迅速で安定した反応イオンエッチングを実現します。さらに、MPS （Multiple Plasma Source）機能により、基板全体の均一性と均一な電力分布が向上し、多様な基板上の繊細な薄層の優れたエッチング品質が保証されます。TEL UNITY 2E 855DDは、高度な技術を駆使し、精密なエッチングを実現しています。このユニットは、高度なインピーダンスマシンを使用して、信頼性の高いエッチングプロセスを確保し、アークを防止します。さらに、このツールは最適な電力レベルのための光電制御を備えています。高度な電源制御技術により、基板全体で安定した高均一な電力を供給します。このアセットにはマルチステップ処理とマルチチャネル処理も組み込まれており、大きな基板上の構造層の精密エッチングを可能にします。東京エレクトロンユニティ2 E 855 DDは、基板交換時でも負荷を保持できる低圧ロードロックチャンバーを採用し、より高速な加工が可能です。このモデルには、再現性と信頼性の高いエッチングを確保するために、さまざまな電源出力を備えた誘導結合プラズマ（ICP）ソースを備えた処理モジュールが含まれています。また、低圧エッチングチャンバーの状態を効率的に維持するための高度なターボポンプ制御システムを備えています。さらに、TEL UNITY 2 E 855 DDは、効率的で効果的なエッチングのためにユーザーフレンドリーに設計されています。ユーザーフレンドリーな多言語ユーザーインターフェイスにより、オペレータはエッチングプロセスを素早く、簡単に、正確にプログラムし、監視することができます。このユニットには、エッチングレシピのリアルタイムフィードバックを備えたウェハーマッピングマシンも含まれています。エッチングチャンバーは、定期的なメンテナンスのために簡単にアクセスできます。全体的に、UNITY 2E 855 DDは、幅広い用途に対応する信頼性の高い高精度エッチングツールです。効率的で高度な技術を組み合わせ、精密にエッチングされた部品を提供します。低圧ロードロックチャンバーと高度な電源制御により、再現性と信頼性の高いエッチングプロセスが保証されます。さらに、アセットは直感的な多言語インターフェースでユーザーフレンドリーで、簡単で正確なプログラミングとエッチングレシピの監視が可能です。