中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM #9293757 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM
ID: 9293757
Dry etcher Parallel plate type: RIE.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRMは、様々な業界で使用される高品質の薄膜平面化および金属化パターンを高精度で生成することができる最先端のエッチング(またはアッシング)装置です。このシステムは、強力な走査型電子顕微鏡(SEM)と精密制御プラズマ蒸着/吸引チャンバーで構成されています。SEMは0。2nmまでの解像度で画像を生成することができ、蒸着/吸引チャンバには複数のノズルが装備されており、非常に均一な薄膜パターンを作成します。最高レベルの精度を実現するために、TEL UNITY 2E 85 DRMは多くの特殊な機能に依存しています。このユニットは、高度な電子ビームラインスキャナを使用してビームを正確に指示し、多段式光学機械で堆積/吸引プロセスを画像および制御します。SEMには、フィルムの厚さを継続的に監視するオートフォーカスプロファイル最適化モジュールも装備されており、ユーザーは微調整を行うことができます。統合されたコンピュータツールは、完全にコンピュータ化された操作とユーザーフレンドリーな画像最適化、ならびに強力な分析および測定機能を可能にします。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRMは、さまざまな安全対策と制御システムも備えています。これらには、蒸着チャンバまたは吸引チャンバの温度と流量を監視する資産と、安全な動作を確保するための内蔵ガスモニターが含まれます。さらに、このモデルは、高度なアクセシビリティと効率的なクリーニング手順で、メンテナンスが容易に設計されています。UNITY 2E 85 DRMは、フェライト、ゲート酸化物、誘電体などのエッチング困難な基板上に高品質の薄膜パターンを作成するのに最適です。また、低温はんだや金属の高精度接触穴やパターン成形も可能です。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRMは、比類のない精度を提供することで、これまでにない精度と信頼性で、最も複雑な設計を製造することができます。
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