中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #9178057 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDは、窒化ケイ素、二酸化ケイ素、エッチストップ層のエッチバックを含む誘電層用の先進エッチャーです。TEL UNITY 2E 85 DDは、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、アモルファスシリコン、窒化ケイ素のエッチングに使用できます。この高度なエッチャーはまた、さまざまな材料上の高度な機能やパターンを作成する機能を提供します。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDの効率的で信頼性の高い設計により、最適なエッチングの均一性と精度を保証します。反応性の高い低温アルゴン/塩素ベースの化学物質を使用することで、エッチング率とエッチング異方性を優れた制御が可能です。Advanced Control Substrate Positioner （ACSP）技術により、UNITY 2E 85 DDは幅広い基板サイズと形状を正確かつ正確にエッチングできます。また、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDの大きなプロセスウィンドウは、平衡時間を最小限に抑え、目標とする結果を確実にするのに役立ちます。TEL UNITY 2E 85 DDは、半導体加工アプリケーションにおいて、最高品質の相互接続されたフィールドイメージ（IFF）を生成するために特別に設計されています。IFFは狭い特徴の正確なパターン化の付加的な利点を提供し、極端な解像度で焦点を合わせることができます。東京エレクトロンユニティ2E 85 DDの優れたエッチング機能により、異なる材料間のエッチング速度、高速エッチスループット、高均一エッチング結果の選択性に優れています。UNITY 2E 85 DDは、優れたスルーシリコンビアス（TSV）エッチングも提供します。最小限に抑えられた特徴のローディングは地形の層の位置の大きい柔軟性を与えます。さらに、エッチング工程の高い均一性により、これらの狭い特徴が均一な深さで正確にエッチングされます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDは、メンテナンスやトラブルシューティングのニーズにお応えするため、オンボード診断やデータロギング機能を搭載しています。これは、プロセス結果と品質保証の最適化のための完全なクローズドループ制御を備えています。最後に、幅広いオプションとスマート機能により、ユーザー固有のプロセス最適化とカスタマイズが可能になり、プロセスのサイクル時間が短縮されます。要約すると、TEL UNITY 2E 85 DD etcherは、誘電体レイヤー、タイトなフォーカス制御、大きなプロセスウィンドウ、高速エッチスループット、強化された機能ロード、オンボード診断およびデータロギング機能、幅広いオプションとスマート機能を提供します。