中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293774796 を販売中
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ID: 293774796
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Oxide etcher, 8"
YASKAWA Robot
Process: Oxide
CIM: GEM
Handler
Chiller
(2) LPT
(4) Dry pumps
AC and RF Rack
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDは、半導体製造業で使用されるエッチャー/アッシャー機です。この機械は、半導体デバイスの表面に複雑なデザインとパターンを作成するように設計されています。ドライエッチング、反応性イオンエッチング、プラズマエッチングを組み合わせてエッチングまたはエッチングを行い、精度と精度の高い複雑なパターンにします。また、表面粗さの改善と最適な電気特性を提供する半導体デバイスの表面を洗浄し、灰にすることができます。センターコントロールユニットにより制御され、エッチングやアッシング操作の指示を簡単に入力できます。設計速度は毎秒8。6msで、このエッチャー/アッシャーは複数の操作を迅速かつ効率的に実行できます。さらに、成分の合金も必要に応じて加熱して溶融し、柔らかいまたは成形可能なエッチングの詳細を作成します。TEL UNITY 2E 85 DDエッチャー/アッシャーは周波数RF伝送を採用し、エッチングおよびアッシング操作に使用される電力を供給します。このタイプのエッチャー/アッシャーシステムは、高周波電界を提供する複数のRF発電機を備えたマルチセルプラズマチャンバーを使用しています。これは、半導体材料の正確なエッチングと灰の領域に役立ちます。それは元素金属、ケイ素ベースの基質、化合物、多結晶材料、および他を含むいろいろな材料をエッチングし、灰できます。この機械の大きい利点の1つはより小さく、より細いラインおよびまた詳細なパターンが付いている部品を正確にエッチングする機能です。また、ヒートエッチングやソフトエッチングにも優れた温度制御機能を備えています。また、他のほとんどのエッチャー/アッシャーマシンよりもクリーニングサイクルが優れているため、エッチングおよびアッシング操作の前に表面をクリーニングして準備することに非常に効果的です。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DDエッチャー/アッシャーは、半導体デバイスで使用される基板の精密エッチングとアッシングに最適な、信頼性と精度の高い機械です。高度な機能と正確な制御機能により、複雑なパターンや機能をタイムリーかつ費用対効果の高い方法で作成するための理想的なマシンです。
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