中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM #9162835 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2 DRMは、あらゆる品種のドライエッチング用途に使用される汎用エッチングです。独自のDirect Resistance Heating （DRH）システムを搭載しており、精密なプロセス制御により低電圧高電流動作を可能にします。このエッチャーは幅広いプロセス範囲を持ち、デポジット深度は25nm-6um、エッチング深度は10-200umです。反応イオンエッチング（RIE）とプラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術の両方が可能です。TEL Unity 2 DRMには、プロセスを正確に制御できるオートメーション機能が統合されています。これらには、ウェーハの準備と処理のためのコンピュータ制御システムと、プロセスパラメータに基づいて適切な電力と電圧を正確に供給する自動RFジェネレータが含まれます。内蔵のオートキャリブレーションは、一貫したプロセスの再現性を確保するのに役立ちます。これらの機能は、時間を節約するだけでなく、プロセスを制御する際のヒューマンエラーのリスクを大幅に低減することができます。エッチャーには、プラテンと電気駆動カバー、最大4つのアノードカセットを備えた最大4つのプロセスガスをサポートするモジュラープロセスチャンバーが内蔵されています。また、特許取得済みのCIE （Controlled Ion Energy Source）を備えており、プロセスチャンバー内の低圧条件を維持し、エッチングの精度と再現性をさらに保証します。エッチャーは信頼性が高く効率的であり、高い再現性と歩留まりを備えた最も複雑なエッチングを提供することができます。それはよい熱安定性、低いクロス汚染を楽しみ、人間工学的の設計は使用することを容易にします。要するに、TOKYO ELECTRON Unity 2 DRMは、幅広いドライエッチング用途に適した汎用性が高く、機能満載で信頼性の高いエッチングです。精度と再現性を確保する自動化された機能を備え、デュアルレベルのプロセスチャンバーは柔軟性と信頼性を提供します。複雑なパターンの精密エッチングや標準的なアプリケーションエッチングにかかわらず、あらゆるドライエッチング作業に最適なツールです。