中古 TEL / TOKYO ELECTRON UD #293614957 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UD
ID: 293614957
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Etcher, 12" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UDは、半導体業界で必要とされる高精度・高精度な用途向けに設計されたケミカルエッチング機です。これは、エッチング、クリーン、迅速かつ正確かつ徹底的に検査することができる完全な機器を提供することができる複合機器ツールです。フォトリソグラフィ、スパッタリング、プラズマエッチング、基板洗浄、レーザー検査など、複数の機能を統合しています。汎用性と効率性に優れ、様々な素材にマイクロサイズのパターンを作成することができます。正層エッチング用の専用真空チャンバー、イオンソース、光学レンズを装備しています。真空チャンバは、生成されたプラズマおよびエッチング処理を効率的に分散させるように設計されており、プロセス制御の改善と汚染の減少をもたらします。光学システムは、インジウム酸化物の光源、デジタルカメラ、充電電気CCDスキャナーで、プロセスを正確に測定および監視するために含まれています。このデバイスの制御ユニットは、信頼性、精度、および性能向上のための高度な制御アルゴリズムを備えたデジタル信号処理に基づいています。また、精密な調整と監視のための環境センサーと複数のパラメータも含まれています。このように、機械は垂直と水平の両方のラインを正確にエッチングするだけでなく、あらゆる種類の材料を掘削、切断、マーキングすることができます。また、ハードコートクォーツサセプターと昇華冷蔵庫を備えており、比類のない精度で正確なパターンを正確にエッチングし、洗浄することができます。また、高解像度コンピュータを搭載し、材料の欠陥を正確に検出・分析し、迅速かつ効率的なプロセス制御を可能にします。このデバイスは非常に堅牢で信頼性が高く、高温および高放射線に耐えることができます。要するに、TEL UDは非常に汎用性が高く、効率的で正確な高度なエッチングマシンです。半導体、高速、高精度のアプリケーションに最適です。精密な制御のための高度な制御アルゴリズムとセンサーを搭載し、高速で効率的で信頼性の高いエッチングのために様々な高解像度コンピュータシステムを利用しています。垂直線と水平線の両方をエッチングし、あらゆる種類の材料をドリル、カット、マークすることができます。
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