中古 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW #9192014 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW
ID: 9192014
Oxide etches.
TEL/TOKYO ELECTRON U2E-85D-SWは、多種多様な生産産業に対応するハイエンドのコンピュータ制御エッチャーおよびアッシャーです。5軸マイクロステッピングモーターユニットと高精度とパワーコントロール機能で設計されています。さらに、0。3 μ mの表面サイズまで基板上で正確に加工することが可能なエッチャーとアッシャーは、高精度の微細加工ジョブを処理することができます。TEL U2E-85D-SWの主成分は4軸ステージモーションユニットです。このモーションプラットフォームは、高精度、低ノイズ、および振動のない動作を備えています。モーションプラットフォームは、多軸、高速、高精度、低ノイズ動作など、さまざまな要件に対応するように設計できます。さらに、汎用性の高い設計により、大型モデルを必要とする用途にも対応できます。使いやすさを高めるために、多くの機能を備えたU2E-85D-SWcomes。これらには、オートポイントキャリブレーション、オートインナー/アウター輪郭キャリブレーション、オートマテリアルリキャリブレーション、および自動機器ポイント調整が含まれます。さらに、精密制御と高度な静電放電(ESD)保護を確保するために、このユニットは7軸ロボットアームとRS232/ASCIインターフェースによって補完されています。ロボットアームは、ウェーハの同時位置設定とインデックス化を実現するために、シングルオペレーションまたはデュアルオペレーションとして利用できるように設計されています。ウエハ搬送システム、コンベアベルト、ウエハローディング用の真空ライン、Oリングチェーンテンショナー付き基板ホルダーなど、さまざまな機能を備えています。さらに、それはほこりの粒子を減らし、制御された熱環境を提供するのを助けることができる電動冷却ファンを備えています。さらに、最大限の安定性を確保し、処理速度を向上させるために、高性能の空冷ユニットと専用の精密ノズルを装備しています。TOKYO ELECTRON U2E-85D-SWは、多くの重要な機能を提供するだけでなく、安全性と環境保護の業界最高水準を満たすように設計されています。それはオペレータ傷害の危険を減らすのを助ける安全版機械が装備されています。さらに、環境負荷の高い運転を推進するため、化学廃棄物や排気廃棄物の削減を目的としています。全体的U2E-85D-SWは、高性能でコンピュータ制御されたエッチャーとアッシャーで、さまざまな超精密微細処理を簡単かつ正確に実行できます。このユニットは、高密度動作精度と強化されたパワーコントロール機能で設計されています。さらに、安全性と環境保護を最大限に発揮する堅牢な機能を備えているため、さまざまな精密微細加工作業に最適です。
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