中古 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SWは、多種多様なプロセス工程で高スループット性能を実現するエッチング/アッシュプロセス装置です。有効面積は855平方ミリメートルで、シリコン、融合シリコン、ガラスなど様々な基板に対応できます。このシステムは、統合されたプロセスチャンバーを備えており、最大2000ワットの電力までの周波数制御RFジェネレータによって駆動されます。このユニットはまた、エッチング速度、プロファイル制御、温度制御などの完全にプログラム可能なプロセス条件を可能にする精密プロセス制御ソフトウェアを備えています。TEL U2E-855SS-SWは、ローボリュームのロードロックを備えた完全自動化されたマシンです。また、堅牢な安全ツールを備えており、あらゆるプロセス条件ですべての安全対策が講じられています。このアセットは、名目上、1時間あたり最大200個のウエハーが可能で、8×10インチの実装パックを備えており、さまざまな基板サイズを迅速にロードできます。基板温度の安定性を確保するために、このモデルは統合されたマイクロポンプモジュールを備えており、より一貫した結果を得ることができます。堅牢なソフトウェアパッケージには、レシピ作成とプロセスパラメータ設定を簡素化する高度なシーケンスマネージャもあります。さらに、機器にはデータ収集、レシピ、プロトコルのための統合コントローラがあり、システム全体を最初から最後まで制御します。最後に、このユニットはリモート診断とメンテナンスを備えており、迅速かつ簡単なトラブルシューティングを可能にします。TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SWは、高性能・高精度制御を実現した印象的なエッチング/アッシュマシンです。これは、さまざまなプロセス手順のために設計されており、効率的で信頼性の高いエッチング/アッシングソリューションを探しているメーカーに最適です。