中古 TEL / TOKYO ELECTRON U2e-655II #293660132 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655IIは、高度なサブミクロン加工およびナノテクノロジー用途向けの高度なエッチングおよびアッシング装置です。このエッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングおよびアッシング作業を可能にする複数のウェハ使用を利用しています。その機能には、4または8の平行ブロック、非破壊的なパターニングシステムのサポート、改善された均一性と精度のためのアクティブウェーハ回転、高スループット、および所有コストの低コストが含まれます。このU2e-665IIは、反応イオンエッチング（RIE）やプラズマ強化化学蒸着（PECVD）など、さまざまな種類のエッチング処理を利用しています。RIEは、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素など、さまざまな材料のエッチングを可能にします。PECVDは、薄膜構造だけでなく、様々な基板上に薄膜を堆積するために使用されます。また、TEL U2e-655IIはパルスエッチングシーケンス制御とパージシステムを備えており、表面汚染をより良く制御し、再現性を向上させます。東京エレクトロンU2e-655IIは、高速ローダーアームを採用し、スループットを向上させ、ウェーハの正確かつ正確な積載を実現します。また、メンテナンスのためのダウンタイムを削減し、ツールの生産性を向上させることができる複数のチャンバーを使用することにより、所有コストを削減するために設計されています。また、内部の機械機構U2e-655II備えており、粒子が充電されてプラズマチャンバーに入るのを防ぎます。これにより、汚染を低減し、資産全体のパフォーマンスを向上させることができます。このモデルはまた、使いやすいように設計されており、エラーをすばやく検出して解決するのに役立つ自己診断モードを備えています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655IIは、ナノテクノロジーおよびサブミクロメータ処理ニーズに対応した信頼性と手頃な価格のエッチングおよびアッシング機器を提供します。高度な機能により、生産性を向上させながら所有コストを削減し、精密加工の精度を高めます。