中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252310 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DDは、さまざまな用途において優れた信頼性の高い性能を実現するために設計された高性能ドライエッチング装置です。厚くて薄いフィルムを高密度にエッチングし、再現性と品質に優れ、中規模・大規模生産に最適です。このユニットは、独自のディスク形状の静電チャックを使用して、処理中に基板を確実に保持します。これにより、基板とエッチングヘッドの間の適切なインターフェースが確保され、加工エラーを最小限に抑えることができます。エッチングヘッドは、耐摩耗性を高めるためにPTFEコーティングを施したステンレス鋼で構成されています。全調整可能ノズル、エネルギー制御、可変パワーレーザー、正圧チャンバーなど、エッチング時の再現性と品質向上を促進するさまざまな機能を備えています。これらの機能はすべて、基板上に存在する可能性のある汚染物質を低減するのに役立ち、エッチング結果の改善に貢献します。TEL TSP-3055DD機は1000 ウェーハ/hという圧倒的な負荷があり、需要に応じた大規模生産に適しています。さらに、自動レベルコントロール機能により基板の不規則性を補正し、均一なエッチング処理を実現します。このツールはまた、エッチング基板にさまざまなロゴやサインを適用できるレーザーマーキング機能を提供します。エッチングされた個々のアイテムをカスタマイズするために使用できる使いやすく適応可能な機能です。さらに、品質コントローラはリアルタイムデータにアクセスして品質チェックを実行し、最適なエッチング処理のための結果を評価することができます。TOKYO ELECTRON TSP-3055DDは、さまざまな用途に適した信頼性の高いエッチングマシンで、高品質な結果を再現可能な性能と効率で提供します。