中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252304 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DDは、大規模産業向けドライエッチングソリューションです。このアッシャーは、洗練されたプラズマ源と高度なガス供給サブシステムを利用して、シリコン、ポリイミド、金属合金、ポリマーなどのさまざまな材料を迅速かつ正確にエッチングします。直径6インチまでのウェーハ加工が可能で、複雑な電子部品の効率的な生産が可能です。TEL TSP-3055DDは、高精度で再現性のあるプロセスパラメータの構成を可能にする高度なコントローラを内蔵しています。それは高性能RFの発電機および周波数アジャイル電源制御を特色にし、最大の血しょうの均等性を保障します。コンピュータ制御のガス供給システムにより、基板上に精密な量のエッチングガスを分配することができ、高い歩留まり処理が可能です。また、TOKYO ELECTRON TSP-3055DDは大規模で、最小限のスペースを占めています。耐久性を確保した堅牢な素材で構成されており、頻繁なメンテナンスを必要とせずに連続運転が可能です。複数のプロセスモニタシステムが含まれており、直感的なリアルタイム制御とユーザーフレンドリーなデータ取得が可能です。TSP-3055DDは、ユーザーにエッチングとエッチングの深さ制御の最高の精度を提供するように設計されています。強力なプラズマ源と自動化されたプロセスコントローラは、不要な変動源を排除し、エッチング製品の最高品質をもたらします。このアッシャーは、顧客に最高レベルの生産性、費用対効果、精度をもたらすことが保証されています。