中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055D #9284538 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055D etch/asherは、マイクロエレクトロニクス、半導体ウェハ、フラットパネルディスプレイ部品のエッチング用に設計された精密マイクロエッチング装置です。パターン成形、エッチング、成膜、表面処理、平面化、成膜安定化など、高度な精度を必要とする様々なプロセス向けに設計されています。エッチャー/アッシャーは、最大チャンバーサイズが495Si、動作温度範囲が25°C〜850°C、サイクル時間が1000-10000Kサイクル内で30ミリ秒の完全自動化されたシステムです。温度は優秀な安定性および反復性の100°Cのincrementsで正確に調節することができ周期変数はまた異なった条件を満たすために調節することができます。また、大型の高解像度ディスプレイを搭載しているため、プロセスパラメータを簡単に制御できます。TEL TSP-3055Dには、強力なソフトウェアとハードウェア機能が搭載されています。このマシンはウェーファースキャナーとマイクロスキャナ技術を使用して、エッチングやサブミクロン精度を必要とするその他のプロセスの正確な位置決めを可能にします。このツールには、エッチャーの効率的かつ効率的な操作を可能にするUnimatic Front Endアプリケーションがあります。ユーザーが選択可能なドライエッチングとウェットエッチングのオプション、および再飛行エッチプロセス制御機能もあります。この資産には、高精度のフロー制御、プログラム可能な抵抗制御、および非常に正確な結果を得ることができる内蔵のセンサパッケージなどの高度な機能が付属しています。このモデルには、チャンバ内の圧力を積極的に監視する真空チャンバ圧力制御機能も装備されています。この機能は他の厳格なプロセスと組み合わせて、非常に低い故障率で高精度のエッチング結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON TSP-3055D etcher/asherは、あらゆるマイクロエレクトロニクス用途において優れた精度と再現性を提供する優れた装置です。高度な機能と機能を備えており、時間と労力を最小限に抑えた正確な微細加工作業を可能にします。正確な結果は信頼性が高く、コストの削減と生産性の向上に役立ちます。