中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #9352959 を販売中
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ID: 9352959
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Etcher, 12"
Model: SCCM Shin
Main frame
(3) Chambers
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSSは、高速かつ効率的なウェーハパターニング機能をユーザーに提供するために設計されたエッチャー/アッシャーです。2インチ、4インチ、6インチウエハなどの大型ウエハ基板にも対応可能な、処理面積が充実したシングルウエハシステムです。ウエハ基板表面に各種材料を高精度にエッチングすることができるRIE （Reactive Ion Etch）加工チャンバーを搭載しています。高精度で幅広いプロセス条件でドライエッチングを行うことができるため、ウェーハ上の微細な特徴を作り出すのに適しています。TEL TSP-30555SSSには自動化されたプロセスコントローラがあり、ユーザーはプロセスサイクルの複数のプロセスオプションをプリセットできます。また、エッチング中のチャンバーの状態を制御するためのインタフェースと、圧力、温度、プロセスの状態を視覚的に監視できる診断システムを備えています。また、東京エレクトロンTSP-30555SSSは、その性能を向上させるために、他の多くの機能を備えています。これらには、高度なオートチューニング設備、マルチチャンバー/マルチスタック設備、エッチング結果を最適化するために基板温度を制御する自動加熱/冷却システムが含まれます。これに加えて、超大型エンデューライド、OFEポンプ、および高真空（HV）コンポーネントが装備されており、プロセス全体で高精度と信頼性を維持するように設計されています。TSP-30555SSSは、プラズマ、イオンビームエッチング、スパッタエッチングなど、幅広いエッチングプロセスにも対応しています。また、シングルステッププロセスとマルチステッププロセスの両方を実行することもできます。サイクル時間が非常に短く、1サイクルにつき最大6個のウェーハの生産に対応できます。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSSは、高速かつ効率的な操作でユーザーに高精度の結果を提供するように設計された優れたエッチャー/アッシャーです。堅牢な構造、自動化されたプロセスコントローラ、および多数の機能により、半導体およびその他の関連産業で使用される幅広い材料のエッチングに最適です。
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