中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355303 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304は、最も要求の厳しいウェットエッチングおよびストリッピング用途向けに設計された業界をリードするエッチャーまたはアッシャーです。大型で安定したウェットベンチ設計のTEL TSP-304は、2003年にセミオートエッチャーとして初めて導入されました。TOKYO ELECTRON TSP-304は、36インチ×36インチ（914 mm×914 mm）のトップワーク面が印象的で、最大4バケツのソリューションを備えています。エッチャーの中心には、コントロールパネルに取り付けられたプロセスオートメーションコントローラがあり、ソリューションの攪拌、温度、タイミング、およびその他のさまざまなプロセス制御パラメータなどのエッチャー機能を制御します。このパネルは、故障診断やユーザー定義の緊急シャットダウンなど、さまざまな安全機能も管理しています。TSP-304は、酸化、拡散、化学蒸着など、さまざまなエッチングプロセスのための多目的プログラマブルゲート制御を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304は、従来の15cm×20cmの小型ウェーハ用クォーツボートを搭載し、最大2隻の大型クォーツボートに対応し、太陽電池、MEM、フラットパネルディスプレイエッチングに最適です。マルチパインエッチング抵抗の迅速な交換など、メンテナンスが容易なドレインを内蔵しています。TEL TSP-304は、利便性と安全性を念頭に設計されています。アップグレードされた安全スタンドを利用して、エッチャーはユーザーを危険な物質の飛散から保護するように設計されています。メンテナンスも簡単です。TOKYO ELECTRON TSP-304は人間工学に基づいたデザインで、洗浄とメンテナンスを最小限に抑えています。これらの機能により、TSP-304はエッチング用途に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304は、信頼性の高いウェットエッチングとユーザーフレンドリーなプラットフォームにより、小規模および大規模な生産環境に最適なソリューションです。最先端の制御システムと大きな作業エリアを組み合わせたTEL TSP-304は、生産と研究の両方に最適なエッチングソリューションです。