中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355302 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304 etcher/asherは、ドライエッチングを行う高度な半導体加工装置です。このアッシャーは、プラズマベースの技術を活用して、超高精度と精度で様々な材料を堆積し、エッチングすることができます。それは5つの主要な部屋が付いている複数の部屋の組み立てを特色にします、それぞれにエッチングプロセスで独自の特定の目的があります。これには、メインチャンバー、フィードラインチャンバー、反応チャンバー、RFチャンバ、およびポストアッシュチャンバーが含まれます。メインチャンバーにはサンプルホルダーが収納され、ウェーハからウェーハへの均一で一貫したエッチング結果を保証するために慎重に管理された雰囲気に保たれています。このチャンバーは、主要チャンバーにエッチング剤と基板を導入する責任があるフィードラインチャンバーに接続されています。反応チャンバーは、プラズマが存在する場所であり、プラズマ密度を制御するために磁場と電場の両方を備えています。このフィールドを使用すると、オペレータは特定の材料にエッチング率とエッチング選択性を調整できます。RFチャンバは他のチャンバから電気的に絶縁されており、プラズマを生成するための高い電源として機能します。このRFチャンバーは、シーケンシャルエッチング操作にも使用でき、優れた角の丸みを持つ微細なパターンの加工が可能です。最後に、エッチング後のチャンバーは、ウェーハが腐食性の挙動から解放されるように処理される場所です。TEL TSP-304は、そのパフォーマンスをさらに向上させるために、さまざまな安全性と診断機能を備えています。また、エッチング処理を簡単に監視および制御できる包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しています。TOKYO ELECTRON TSP-304は、再現性に優れた高精度でライン定義された機能を実現する高度なエッチャー/アッシャーです。