中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207Hプラズマアッシャーは、様々な材料のエッチングとアッシングのためのハイスループットプラズマエッチングツールです。エッチャー/アッシャーには、50mm SiH3の二次基板と15mmの石英ウェーハキャリアが装備されています。TEL TSP-207Hプラズマエッチングツールは、高出力、高電圧、信頼性の高いECRプラズマ源により、最適なエッチング性能を提供します。取り外し可能なマグネトロンと高周波発電機により、エッチングの均一性、精度、再現性に優れています。TOKYO ELECTRON TSP-207Hは、カセットローダー/アンローダーで簡単にロード/アンロードできます。TSP-207HプラズマアッシャーのECRプラズマ源は、高精度で再現性の高い幅広いプラズマ種を生成します。その基板温度は、高度な温度制御システムのおかげで、蒸着およびエッチング工程に正確に組み込むことができます。アッシャー/エッチャーには、プラズマプロセスを完全に制御するためのプロセス監視機能も装備されています。エッチングされたパターンやエッチングされた表面の断面観察は、走査型電子顕微鏡（SEM）で可能です。高度なコントローラは、エッチング深さ制御、時間、温度など、さまざまなエッチングプロセスを実行することができます。さらに、独自のユーザーフレンドリーなグラフィックスユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、最適なプロセス操作が可能です。また、TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207Hプラズマアッシャーには、遠隔操作、制御、メンテナンスのための遠隔監視および制御技術も搭載しています。TEL TSP-207Hプラズマアッシャーは、高いスループットと信頼性の高い結果に最適化された堅牢なユニットです。さまざまなエッチングやアッシング条件に対応し、幅広い加工ニーズに対応できるよう設計されており、エッチングやアッシング作業に最適です。機械はユーザーフレンドリーなインターフェイスが容易な操作を保障する間、顕著な精密および反復性を提供します。