中古 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-2077HH #9235083 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-2077HHは、各種基板上の極小構造の精密エッチングに使用されるエッチャー/アスパーです。それは多くの企業および研究の適用で使用される高精度で、信頼できるエッチング機械です。TEL TSP-2077HHは、強力なコントローラーユニット、高度な光学系、電子ビーム源、試料テーブルで構成されています。これは、単一のウェハまたはバッチ構成のいずれかで動作することができます。コントローラーユニットは、CPUとエッチパラメータをプログラムするために使用されるユーザーインターフェイスで構成されています。高度な光学系は、ユーザー定義の解像度を持つ特定の領域に電子ビームを集中させるために使用されます。電子ビーム源は、化学結合を蒸発させてエッチングを目的とした電子で材料を照射するために使用されます。最後に、試料テーブルを使用して基板を配置し、特定の形状を正確にエッチングするためにX、 Y、 Z軸に沿って移動します。TOKYO ELECTRON TSP-2077HHは、高精度・高解像度で幅広い用途に対応しています。金、銅、銀、アルミニウムなどの金属の非常に薄い層をエッチングするために使用されます。また、ポリマー、炭素ベースの分子、ナノ構造など、さまざまな有機分子をエッチングすることができます。また、影を使用して複雑なパターンを作成することができます。電子ビームは、直接製品の操作や欠陥解析などの他のプロセスにも使用できます。結論として、TSP-2077HHは、エッチング用途の広い範囲に使用することができます。これは、非常に高精度、解像度、汎用性を提供します。したがって、異なる基板上の非常に小さな構造をエッチングするための非常に有用で信頼性の高いツールです。