中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiN #293659307 を販売中

TEL Triase EX-II Plus Ti/TiNエッチャー/アッシャーは、精密なパターニングと信頼性の高い性能で有名な最先端のエッチング/アッシング装置です。最新の技術を活用して、高スループット、高スループットエリアカバレッジ、高速エッチング/アッシング処理時間を提供します。このユニットは、優れた表面対容量比と低い所有コストを提供し、さまざまなエッチング/アッシング用途に最適です。さらに、EX-II Plus Ti/TiNには、チャンバー全体に均一な温度を確保する統合暖房機も搭載しており、加工中の精度を向上させます。その結果、ユーザーは表面粗さがほとんどなく、正確なパターンを作成することができます。Triase EX-II Plus Ti/TiNは幅広い材料向けに設計されており、各アプリケーションに合わせてプロセスレシピをカスタマイズできます。これは、最大150 µmのスポットイメージングを提供し、表面解像度を大幅に向上させる高解像度イメージングツールを備えています。さらに、このアセットには、エッチング選択性を高めてより複雑な設計を作成できる複数の電極構成が含まれているため、非常に鮮明なサイドウォールプロファイルが得られます。安全性に関しては、このモデルは、強力な安全管理機器に基づいて構築された基礎を持っており、プロセスの安全性を優先するユーザーのための強化されたプロセス環境を提供します。粒子汚染の影響を最小限に抑えるために、システムには統合されたウェーハ排気ユニットが含まれています。また、ガスフローの騒音を低減し、静かで生産性の高い環境で作業することができます。EX-II Plus Ti/TiNは究極の利便性を追求して設計されており、レシピを迅速にバックアップ、アーカイブ、および復元するための書き込み回数、読み取り回数（WORM）データ管理プログラムも備えています。さらに、このツールに内蔵されているタッチスクリーンインターフェイスを使用すると、ユーザーは資産の前面からプロセスを監視および制御することができ、迅速かつ簡単なセットアップと実行が可能になります。結論として、TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiNは、常に高品質な結果を提供できる高度なエッチング/アッシングモデルです。多数の機能と安全プロトコルを備えているため、複雑な設計を効率的かつ正確に作成し、自信を持って要件を満たすことができます。