中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9399572 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、大手プロセス機器メーカーのTELが開発した先進エッチング/アッシャー装置です。半導体デバイスやフラットパネルディスプレイなど、幅広い産業用エッチング/アッシャー用途向けに設計されたハイエンドシステムです。TEL Triasは、高度なエッチング/アッシングチャンバーとプロセスチャンバーを備えており、ユーザーに精密なエッチング/アッシング操作を提供し、優れた精度と再現性でエッチング/アッシングアプリケーションを制御できます。このユニットには、統合された真空マシンと、エッチング/アッシングの進行を監視するコンピュータ制御ハードウェアとソフトウェアの配列が装備されています。このツールには、レシピの自動入力とさまざまな国際安全規制への準拠も含まれています。トランス変調プラズマ（TMP）技術と標準プラズマ（SP）技術で構成される独自のハイブリッドパルスプラズマ資産により、東京エレクトロントライアスは精密に制御されたプラズマを放出し、エッチング/アッシングの結果を安定的に高めることができます。このモデルは、エッチング速度、精度、一貫性を向上させ、他のエッチング/アッシングシステムと比較してより高い歩留まりと低い拒絶反応をもたらします。さらに、Triasは-50°Cと450°Cの間の広い温度較差のエッチング/ashingプロセス部屋内の温度調整を、提供します。これにより、エッチング/アッシング処理中にパラメーターを迅速かつ効率的に監視できます。また、本装置は、東京エレクトロンの「オートサンプラー」ウェーハチャックおよびその包括的な「ユーザーインターフェース」ソフトウェアと完全に互換性があり、ユーザーは1つの中央からエッチング/アッシング処理を制御することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、有害物質の抽出用の強力なファンや潜在的な有害物質のプロセス環境を監視する機能など、高い安全性と環境保護機能を備えています。このシステムには、インタラクティブなインストラクショナルメニューも用意されており、ユーザーはマシンのセットアップをすばやく構成し、プロセスの再現性の概要を明確に把握できます。全体として、TEL Triasは、エッチング/アッシング操作で最大限のパフォーマンスと信頼性を求めているユーザーに高度なエッチング/アッシングソリューションを提供します。このユニットは、エッチング/アッシングプロセスの最高レベルの精度と一貫性を要求する半導体およびフラットパネルディスプレイメーカーに最適です。