中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390444 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エレクトロニクス、自動車、航空宇宙産業など、様々な分野の用途に最適な高精度プラズマエッチングおよびアッシング加工ツールです。高密度プラズマ源を利用し、精密かつ高度なエッチングとアッシング機能を実現しています。この機能により、エッチャー/アッシャーはさまざまな特殊な処理ニーズに対応する強力なツールとなります。TEL Triasエッチャー/アッシャーは、11 インチカラーLCDタッチパネルを搭載し、プログラミング、調整、操作が容易です。また、業界標準の高密度プラズマ源を内蔵しており、効率的かつ一貫したパフォーマンスを実現します。さらに、2つの独立した同時プラズマ源で優れたプロセス制御と再現性を提供し、精密で特殊なプロセスに使用できます。このエッチャー/アッシャーはまた、高精度の正確な位置決めのための3つの高精度ステージを備えており、さまざまな表面形状の処理を可能にします。TOKYO ELECTRON Triasは、潜在的な放射線の危険からオペレータを保護するための包括的なインターロックで設計されています。また、セットアップにかかる時間を短縮し、迅速かつ正確な操作を提供することでプロセス効率を最大化することも可能です。このエッチャー/アッシャーはまた電気衝撃から保護するために地上の欠陥の遮断器（GFI）が装備されている安全保護を特色にします。また、ウェーハ表面および加工チャンバ前面の温度を測定するための二重赤外線パイロメータを装備しています。Triasは、プロセス歩留まりを向上させるための優れたシステムを提供します。高精度プロセスは、優れた品質とパフォーマンスをもたらします。また、廃棄物を最小限に抑えた最適な生産性や優れた信頼性、メンテナンスの簡素化やコストの削減など、さらなるメリットをもたらします。このシステムは、さまざまなフィードプロセッサ、ローディングシステム、検査システム、およびその他の補助機器と組み合わせることで、エンドツーエンドのソリューションを形成することもできます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、さまざまな業界に優れた結果と品質保証を提供する高性能エッチャー/アッシャーです。この高度な加工ツールは、幅広い表面に精密なエンジニアリングを提供し、さまざまな特殊なニーズに対応する優れたプロセス制御と再現性を備えています。また、統合監視システムや包括的な安全保護など、さまざまな高度な機能を備えており、幅広いアプリケーションに適しています。