中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチングとアッシングの多用途ソリューションです。この装置は、マイクロエレクトロニクス機器、半導体部品、MEMSデバイス、その他の材料など、幅広い用途でさまざまな基板をエッチング、アッシング、洗浄することができます。このシステムには、水没アクションと制御モードを含む、完全に自動化されたモジュラーユニットのコンセプトが組み込まれています。水中処理は薄膜エッチングを容易にし、成膜が上限を超えることを防ぎ、手動調整を必要とせずに高精度なエッチング技術を可能にします。制御モードは、所望のプロセスを達成するための調整された温度制御で精密なエッチングとアッシングを容易にします。また、上下温度設定、露出時間、露出電力など、さまざまなパラメータを使用して独立したプロセス制御を行うことができます。これらのパラメータは、目的の結果と基板に応じて個別またはグローバルに調整できます。これにより、個々の利便性と安全性を確保しながら、精度と信頼性を提供します。さらに、TEL Triasには、レシピ編集機能、熱歴監視および測定機能、診断機能などの高度な表示およびデータ処理機能が搭載されています。このツールは、特別な2層の石英チューブを使用して、徐々に加熱し、エッチング精度を向上させます。また、リニアモータ駆動制御アセットを内蔵し、精密かつ再現性のあるステップを可能にします。また、高いハライドランプを備えた独自の光源により、エッチング力と均一な露出を正確に制御します。TOKYO ELECTRON Triasは、HFベースの酸、ストリッパー、チオールなど、多くの市販のエッチング剤とのプロセス互換性も提供しています。プロセス中、輸入されたガスおよび排気は安全な操作のために監視することができます。また、電源にはプログラム可能なDCと定電流源を使用し、エッチングやアッシング時の電流と電圧を正確に制御できます。最後に、Triasは簡単なメンテナンスと操作のために設計されています。高度な安全機能を備え、安全基準に準拠しています。そのモジュール設計および費用効果が大きい取付けはそれを実験室および産業適用のための理想的な選択にします。